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三氯化硼(化学式:BCl₃)是一种无色、有强烈刺激性气味的腐蚀性气体,常温下为液态(沸点12.6°C)。它是半导体和光电产业中关键的掺杂与蚀刻气体,同时也用于有机合成和金属精炼。
八氟环丁烷
高纯氨
硅烷
甲烷
硫化氢
六氟化硫
六氟乙烷
氯化氢
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