三氟化氮（化学式：NF₃）是一种无色、无味、不可燃的氟化氮化合物，常温下为气体。它是半导体、显示面板和光伏制造中的关键蚀刻与清洗气体，因其高效的氟源特性而被广泛应用，但也因其强温室效应受到环保关注。
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